應用行業(yè)
可廣泛應用于氣體濃度傳感器、校準、測試研究,在新材料及特種材料的研究及制備方面,多配套于CVD使用,等離子刻蝕、催化評價(jià)、脫硫脫銷(xiāo)、氣體焊接等設備中也大量配套使用,大量在環(huán)保行業(yè)中干擾實(shí)驗——動(dòng)態(tài)混合矩陣實(shí)驗法中使用,主要是對氣源CO2、SO2、N2進(jìn)行動(dòng)態(tài)混合配比,為試驗提供一定流量范圍或濃度范圍的混合氣體。右側部分為氣路原理用戶(hù)可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成,并可通過(guò)手動(dòng)方式,控制內部截止閥(V1-V6的開(kāi)關(guān))INLET1-設備所用背景氣,一般為空氣或氮氣。
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靜態(tài)分配方法的特點(diǎn)
1、除了高壓缸分布方法,靜態(tài)分配方法有一些優(yōu)點(diǎn),如設備簡(jiǎn)單、操作方便、標準物質(zhì)和稀釋氣體的劑量小等優(yōu)點(diǎn)。
2、而是因為一些氣體化學(xué)性質(zhì)活潑,長(cháng)期接觸容器或可能發(fā)生吸附反應,導致氣體濃度不準確或改變隨著(zhù)時(shí)間的推移,特別是對于低濃度的氣體,誤差較大。
因此,靜態(tài)分布規律一般只適用于使少量的化學(xué)活潑性標準氣體,使大量的標準氣體,特別是制定標準氣體的化學(xué)活性物質(zhì),必須選擇動(dòng)態(tài)分配方法。
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技術(shù)優(yōu)勢
自動(dòng)調節濃度
自動(dòng)計算氣體流量
壓差和溫差不影響質(zhì)量流量測量
內部存儲校準數據
高精度經(jīng)過(guò)多項校準,精度實(shí)際可達百分零點(diǎn)幾
同時(shí)混合8種氣體
測量和規定范圍可根據客戶(hù)要求定制
通過(guò)接口與外部PC連接控制
自動(dòng)程序控制
通過(guò)校準檢查質(zhì)量流量控制器
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